ウェハ自動測定
キャリアに格納された6インチまたは8インチのウエハーを完全自動で安全に検査します。
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NEXIV VMZ-NWL200
VMZ-NWL200は、画像測定機「NEXIV」とウェハ搬送機「NWL200」を統合した自動ウェハ測定システムです。高度な画像処理技術を持つNEXIVは、キャリアに格納された6インチまたは8インチのウェハを自動で高速かつ高精度に測定を行います。
優れた信頼性、効率性、操作性
画像測定機NEXIVは、半導体産業で広く利用されており実績のあるNWL200自動搬送機とインテグレーションされました。その結果、VMZ-NWL200という革新的な測定システムとなり、優れた信頼性と効率性を備えています。さらに、専用に開発されたソフトウェアにより、プロセス管理に必要な複雑な操作が簡素化されます。高品質のデータがより迅速に生産ラインにフィードバックされ、歩留まりを最大化します。
主な特長
優れた信頼性
VMZ-NWL200は、自動的に測定を行うため、オペレーターの判断による、結果のばらつきを排除することができます。さらに、ニコンは光学機器メーカーとしての強みを活かし、検査対象物のエッジを正確に検出するためにクリアな画像を提供しています。
優れた効率性
VMZ-NWL200を使用した検査は、ワンクリックで開始することができます。さらに、測定用顕微鏡と比較して、測定生産性が3倍に向上します。画像測定システムの高い効率性は、運用コストを低く抑えます。
優れた操作性
GUI上にウェハグラフィックスが表示されているため、オペレーターはマウスで測定したいチップをクリックするだけで、測定するチップを指定できます。
特徴・機能
優れた信頼性
ロバスト性の高い検査プログラムを簡単に作成、実行、保存でき、完全なトレーサビリティがあります
歩留まり向上
半導体産業におけるクオリティ4.0のニーズに対応しています。
| 装置構成 | 測定機：NEXIV （VMZ-S3020 Type2、Type3、TypeTZ） |
| 搬送機：NWL200 | |
| 適合ウェハ*1 | サイズ：6、8インチ（SEMI/JEIDA規格） |
| 適合カセット | 6インチ：PA182-60MB-06XX（Entegris） |
| 8インチ：PA192-80M-06XX（Entegris） | |
| スループット *2 | 6分45秒 |
| 最小L/S | 500 本／mm |
| 使用環境温度 | 19～26℃ |
| 使用環境湿度 | 70%RH以下 |
| 設置寸法 | 4125×3040 mm |
| 電源電圧 | AC100-120V/200-240V |
| 電源周波数 | 50Hz/60Hz |
| 消費電流 | 7.5A/3.7A |
| 真空 | -80kPa |
*1 販売前にウェハ搬送可否の評価が必要
*2 計測時間を除く25枚のウェハ搬送時間
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