広視野
最大13.3×10mmの広視野（0.35×観察時）で、測定位置の確認が容易に行えます。
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iNEXIV VMAシリーズ
広視野と長作動距離で、高さや段差のあるサンプルの測定に適したエントリーモデルです。
広視野による多彩な測定用途
広視野測定が可能な3つのステージサイズをラインアップ。タッチプローブの装着も可能で、さまざまな検査や品質管理に威力を発揮します。
主な特長
長作動距離と長Z軸ストローク
全倍率範囲で73.5mm＊の長作動距離と200mmのZ軸ストロークを実現。大きな段差や高さのある被検物測定に適しています。
＊レーザーAF仕様の場合は63㎜となります。
測定用途に応じたオプション
レーザーAFやタッチプローブなど、測定用途に応じたオプションを組み合わせてお使いいただけます。
特長・機能
光学10倍ズームヘッド
5段階10倍ズームにより、広視野から細部までの確認が可能。専用設計のアポクロマート対物レンズで、シャープでクリアな画像が得られます。
タッチプローブ測定（オプション）
画像測定では不可能な、見えない部分の寸法や角度の測定を行うことができます。
| VMA-2520 | VMA-4540 | VMA-6555 | |
| ストローク（X,Y,Z） | 250 x 200 x 200 mm | 450 x 400 x 200 mm | 650 x 550 x 200 mm |
| タッチプローブ（TP） 装着時の測定範囲 | 200 x 200 x 166 mm (TP20) 200 x 200 x 170 mm (TP200) | 400 x 400 x 166 mm (TP20) 400 x 400 x 170 mm (TP200) | 600 x 550 x 166 mm (TP20) 600 x 550 x 170 mm (TP200) |
| TP＋モジュールラック 装着時の測定範囲 | 175 x 200 x 166 mm (TP20) 175 x 200 x 170 mm (TP200) | 325 x 400 x 166 mm (TP20) 325 x 400 x 170 mm (TP200) | 525 x 550 x 166 mm (TP20) 525 x 550 x 170 mm (TP200) |
| 最小表示単位 | 0.1 µm | ||
| 被検物最大質量 | 15 kg (精度保証値:5 kg) | 40 kg (精度保証値:20 kg) | 50 kg (精度保証値:30 kg) |
| 測定精度 (※L は測定長さ（mm)) | EUX,MPE EUY,MPE: 2+8L/1000 µm EUXY,MPE: 3+8L/1000μm EUZ,MPE: 3+L/50μm | EUX,MPE EUY,MPE: 2+6L/1000 µm EUXY,MPE: 3+6L/1000μm EUZ,MPE: 3+L/100μm *3 |
|
| カメラ | 白黒1/3" 型CCD、カラー1/3" 型CCD | ||
| 作動距離（レンズから焦点面） | 73.5 mm（レーザーAF装着時63 mm） | ||
| 倍率 | 0.35 - 3.5x | ||
| 視野 | 13.3 x 10 mm - 1.33 x 1 mm | ||
| オートフォーカス | イメージAF、レーザーAF（オプション） | ||
| 照明 | 垂直落射、透過、8分割リング照明（※全系統白色LED光源/1角度） | ||
| タッチプローブ（オプション） | レニショー TP200/TP20 | ||
| 供給電源 | 100 V - 240 V, 50/60 Hz | ||
| 消費電流 | 5 A -2.5 A | ||
| 本体部寸法（W×D×H）／質量 | 650 x 700 x 1557 mm / 110 kg | 1000 x 1340 x 1553 mm / 500 kg | 1200 x 1640 x 1553 mm / 665 kg |
| コントローラー部寸法（W×D×H）／質量 | 145 x 400 x 390 mm / 14 kg | 145 x 400 x 390 mm / 14 kg | 145 x 400 x 390 mm / 14 kg |
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