L’appareil photo et la technologie optique de Nikon sont une combinaison idéale pour les tâches de recherche appliquée

La capacité de Nikon Corporation à fournir à la fois des appareils photo numériques de renommée mondiale, ainsi que des optiques haut de gamme en verre fabriquées dans sa propre usine au Japon, a permis d’assurer une nouvelle vente de microscopie à l’Institut de microtechnique et techniques d’informations de la société Hahn-Schickard de Villingen-Schwenningen, dans le sud-ouest de l’Allemagne.

Hahn-Schickard opère également à partir de ses sites de Fribourg, Ulm et Stuttgart, et se spécialise dans l’exploitation des technologies des microsystèmes dans toutes les industries pour développer des produits intelligents, de la conception à la fabrication à petite, moyenne ou grande échelle. Leurs produits et technologies innovants se retrouvent dans les domaines des systèmes micro-électromécaniques (MEMS), des laboratoires sur puce, des capteurs et actionneurs, des systèmes cyber-physiques, des technologies de l’information, du développement de logiciels et de l’analyse. Le fournisseur de services de recherche et développement à but non lucratif pour la technologie des microsystèmes a besoin d’un large éventail de stratégies d’inspection 2D et 3D, d’équipements de mesure et d’essai, notamment l’interférométrie à lumière blanche, le CT par rayons X et la microscopie électronique à numérisation sur banc de travail pour assister ses activités de recherche et de préproduction. Les microscopes légers sont également largement utilisés, trois modèles de microscopes composés binoculaires Nikon ayant été à la base de la plupart de ces travaux pendant de nombreuses années. David Hochstein, Ingénieur des procédés et Associé de recherche à Villingen-Schwenningen, qui est notamment responsable de la photolithographie dans la production de puces à semi-conducteurs à partir de plaquettes allant jusqu’à 150 mm, a déclaré : « Nos microscopes Nikon existants étaient équipés d’une ancienne technologie de caméra qui n’était pas compatible avec le système d’exploitation Windows 10 actuel, nous avons donc décidé d’acheter de nouvelles caméras dans le cadre d’un programme de modernisation planifié. Il était également clair que pour être en mesure de répondre au débit croissant de mesures et d’essais qui doit être effectué, nous aurions besoin d’un microscope supplémentaire pour augmenter la capacité.

Bien que nous ayons évalué d’autres sources potentielles de microscopes, nous avons choisi Nikon comme notre fournisseur préféré car beaucoup d’ingénieurs ici sont familiers et heureux d’utiliser le logiciel, donc seule une courte période de formation a été nécessaire.

Hahn-Schickard a donc acheté à Nikon Metrology un microscope « à semi-conducteurs » Eclipse L200ND à grande platine, équipé d’une caméra numérique Digital Sight DS-Fi3, ainsi que trois autres, afin que les microscopes optiques existants puissent être équipés de la même manière. Les appareils photo sont dotés d’un capteur d’image CMOS de 5,9 mégapixels et d’une lecture de données à grande vitesse, d’une reproduction des couleurs supérieure et d’une efficacité quantique élevée pour une imagerie optimale dans divers modes d’observation, notamment le fond clair, le fond noir, le contraste interférentiel différentiel (DIC), le contraste de phase et l’excitation de fluorescence. Le dernier microscope composé trinoculaire avec port caméra comprend l’optique CFI60-2 de Nikon Metrology qui s’est avérée parfaitement adaptée à l’inspection des circuits intégrés, des écrans plats, des dispositifs électroniques à intégration à grande échelle et des derniers types de plaquettes à l’aide des méthodes de contraste optique épiscopique et diascopique. La combinaison de ces optiques supérieures avec les différents types d’éclairage offre un contraste et une résolution exceptionnels, avec des images de contraste fond noir trois fois plus brillantes qu’auparavant. Jusqu’à six objectifs peuvent être fixés en même temps. Une excellente parfocalité et parcentricité des objectifs minimisent le déplacement de l’image lorsque l’objectif est modifié, ce qui permet de gagner du temps en évitant la désorientation sur la région d’intérêt. Cela permet une observation stable du haut au bas du grossissement tout en maintenant la position de l’image. L’oculaire conforme à la norme SEMI S2-0200/S8-0600, placé près de l’opérateur pour une utilisation ergonomique, possède un champ de vision ultra large de 25 mm et un réglage de l’angle du tube d’observation entre 0 et 30 degrés.

Le dernier achat de Hahn-Schickard était une suite logicielle d’imagerie et d’archivage NIS-Elements de Nikon Metrology, qui gère les caméras DS pour capturer des images optimales rapidement, les organiser et effectuer la visualisation et l’analyse dans un flux de travail fluide. Des fonctionnalités puissantes telles que l’assemblage d’images, le comptage d’objets et les vues de volume sont incluses. La version particulière fournie au fournisseur de services de recherche et développement était NIS-Elements BR (recherche fondamentale). Elle était destinée à l’imagerie par excitation fluorescente et était capable de gérer et d’analyser de données jusqu’à quatre dimensions, par exemple X, Y, Z et Lambda (longueur d’onde). M. Hochstein conclut : « Les images à haute résolution produites par les derniers équipements vont du spectre visible à l’infrarouge, ce qui est particulièrement utile pour la photolithographie. En outre, la commutation entre l’infrarouge et l’inspection visuelle est rapide. Nous connaissons très bien l’équipement Nikon, alors nous avons été en mesure d’installer les systèmes nous-mêmes et d’éviter tout problème lié au coronavirus. Nous avons toujours reçu un excellent soutien de ce fournisseur et en particulier du Dr Peter Callsen-Cencic, basé chez Nikon Metrology GmbH à Alzenau. »

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