La division Métrologie industrielle de Nikon Corporation a lancé le système de mesure automatique des wafers NEXIV VMZ-NWL 200 pour relever les défis de la métrologie des wafers dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, où le travail effectué manuellement est traditionnellement plus important que dans le contrôle du processus de fabrication. Le marché cible principal du NEXIV VMZ-NWL 200 est donc celui des mesures centrées sur les processus de fabrication de semi-conducteurs en aval.
NEXIV VMZ-NWL 200 permet de pallier à la pénurie de techniciens qualifiés pour les mesures manuelles. L’industrie des semi-conducteurs s’est développée sur la voie de la miniaturisation, ce qui a augmenté le niveau de compétence requis pour les mesures et réduit le nombre d’ingénieurs disponibles. D’autre part, le marché des semi-conducteurs continue de se développer, de sorte que les possibilités croissantes en matière de métrologie sont offertes à un nombre de plus en plus restreint de personnes. Par conséquent, les mesures manuelles effectuées à l’aide de microscopes optiques conventionnels ont atteint leurs limites.
NEXIV VMZ-NWL 200 est un système qui mesure automatiquement des plaquettes de 6 ou 8 pouces maintenues dans un support selon un programme de mesure. La fiabilité du NEXIV et la stabilité du chargement de la plaquette à l’aide du NWL garantissent une grande répétabilité des mesures. Le système permet de sélectionner intuitivement la puce à mesurer à l’aide d’un logiciel dédié. Tout le monde peut donc obtenir les résultats de mesure des puces dont il a besoin avec un haut degré de fiabilité. En outre, il est possible de savoir quand la mesure a été effectuée et par quel programme, ce qui contribue à améliorer la traçabilité.
Le système est conçu dans un souci de sécurité et un capot de protection est prévu pour éviter tout dommage dû à une erreur de l’opérateur. Le fonctionnement est conforme aux normes internationales SEMI S2, S8 et F47.
Au sujet de Nikon Metrology
Nikon est un fournisseur mondial de produits, services et solutions, fruits de sa maîtrise de l’optoélectronique avancée et des technologies de précision acquises au cours de plus de 100 ans d’histoire. Le groupe poursuit ses activités en innovant pour contribuer à l’amélioration de la qualité de vie et de la fabrication au sens large. L’Unité commerciale de métrologie industrielle (IMBU) de Nikon fournit des solutions intégrées, optimisées et de très haute précision, qui sont non seulement adaptées aux besoins clients et rentables, mais sont également parfaitement fonctionnelles une fois mises en œuvre. Dans le cadre des activités de Nikon en matière de fabrication numérique, une coopération plus étroite est née entre l’IMBU et l’Unité commerciale de solutions numériques (Digital Solutions Business Unit, DSBU) de l’entreprise. Cette initiative a permis de lancer une gamme de solutions de fabrication additive et soustractive en optique, destinée au traitement d’une variété de matériaux avec une finition de surface inférieure au micron près. www.industry.nikon.com
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