Seri NWL merupakan jajaran wafer loader semikonduktor canggih dari Nikon yang mampu memindahkan wafer berdiameter 6″ (150mm) dan 8″ (200mm) hingga ketebalan 100 mikron (opsi) ke mikroskop Nikon Eclipse L200N dan LV150N atau sistem pengukur video NEXIV VMZ-S.
Keunggulan teknologi eksklusif Nikon ini menjadikan Seri NWL200 sebagai jajaran pemuat wafer pertama untuk mikroskop pemeriksaan yang mampu menangani wafer tipis 100 um, menghasilkan throughput tinggi dan keandalan pemeriksaan untuk sebagian besar penggunaan di bidang industri semikonduktor.
Ketika catu daya terputus mendadak, vacuum chuck pada lengan makro akan tetap aktif, sehingga memungkinkan pelepasan wafer dengan aman.
Mendukung pola sisi depan wafer semikonduktor, back periphery, dan pemeriksaan area tengah. Kecepatan rotasi wafer dan sudut kemiringan bisa diatur secara otomatis maupun manual.
Elevator cassette wafer cepat dengan mekanisme pemusatan non-kontak ini memungkinkan penyelarasan wafer secara cepat dan akurat menggunakan sistem multi-arm untuk memuat dan membongkar wafer dengan akurasi tertinggi.
NWL200 dirancang secara ergonomis untuk kemudahan pengoperasian dan kendali.
Diposisikan pada 35 derajat ke kiri, lokasi wafer in-slot dan penggantian kaset penuh menjadi mudah.
Dengan terhubung ke LAN pelanggan melalui antarmuka wizard browser web, interaksi yang mudah untuk membuat dan mencadangkan resep pemeriksaan dapat dilakukan.
Penulisan resep kontrol yang dioptimalkan dari jarak jauh memungkinkan pemeriksaan fitur wafer dalam alur kerja yang lancar dan tanpa gangguan.
Debu akibat gesekan di area clamping vakum, atau akibat benturan saat memusatkan wafer atau menyelaraskan orientasi datar atau takik, diminimalkan dengan menggunakan aliran udara tanpa gangguan.
Penutup NWL200 terbuat dari baja tahan karat, mencegah penumpukan listrik statis.
Wafer tipis mengalami distorsi yang signifikan.
Jika sensor tidak efektif, wafer dapat rusak oleh transfer arm.
Spesifikasi Nikon dan pengaturan berkas sensor secara akurat mendeteksi jika wafer tipis dalam kaset terdistorsi, maka akan menggagalkan pengumpulan data.
Satu tombol untuk memilih wafer dari slot kasetnya.
Layar LCD yang besar mendukung interaksi yang cepat dengan kontrol sistem dan resep.
Menu yang terstruktur memungkinkan dialog pengguna yang mudah dengan sistem.
Chip menjadi semakin tipis melalui kemajuan dalam bidang manufaktur, yang membutuhkan penanganan wafer yang sangat tipis.
Seri NWL200 memuat wafer ultra-tipis hingga ketebalan 300μm dan 200μm sebagai standar, atau 100μm sebagai pilihan.
Untuk detail lebih lanjut mengenai produk ini, tim ahli kami akan memberikan informasi tambahan, dan akan mengatur kunjungan ke lokasi Anda bila diperlukan.
Konsultasikan detail proyek Anda kepada kami dan tim ahli kami akan memberikan saran mengenai sistem pemeriksaan terbaik sesuai kebutuhan Anda.
Silakan isi formulir berikut dan kami akan segera menghubungi Anda.
"Kolom ini wajib diisi." indicates required fields
