Medición automática de obleas
Inspección segura y totalmente automática de obleas de 6 u 8 pulgadas colocadas en un transportador.
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NEXIV VMZ-NWL200
Alta confiabilidad, eficiencia y operatividad
El sistema de medición por video NEXIV, ampliamente utilizado en la industria mundial de semiconductores, se ha integrado en el sistema automático y comprobado de carga de obleas NWL200 de Nikon.
El resultado es el VMZ-NWL200, sistema con una innovadora célula de medición y una excelente precisión y eficiencia. Por otro lado, el software especialmente desarrollado simplifica las complejas operaciones necesarias para el control del proceso. Los datos de alta calidad se transfieren más rápidamente a la línea de producción, maximizando el rendimiento.
Puntos destacados del producto
Alta confiabilidad
Al medir de forma automática y consistente, el VMZ-NWL200 elimina la variación de resultados debido a las diferentes interpretaciones de las lecturas por parte de los operadores. Además, Nikon aprovecha sus fortalezas como fabricante de equipo óptico para proporcionar una imagen clara y poder detectar con precisión los bordes del objeto bajo inspección.
Alta eficiencia
La inspección con el VMZ-NWL200 puede iniciarse con un solo clic. Además, la productividad de la medición es tres veces superior a la de los microscopios de medición. La alta eficiencia del sistema de medición por video ofrece un bajo costo de propiedad.
Alta operabilidad
Debido a que las imágenes de la oblea se muestran en la interfaz gráfica del usuario, el operador puede especificar el chip que se medirá simplemente haciendo clic en el punto con el mouse.
Funciones principales
Alta confiabilidad
Los programas de inspección muy robustos se crean, ejecutan y almacenan fácilmente y son completamente rastreables.
Mejora del rendimiento
Cumple con las necesidades de Calidad 4.0 en la industria de semiconductores.
| Dispositivo | Sistema de medición por video（VMZ-S3020 Tipo2, Tipo3, TipoTZ) |
| Cargador: NWL200 | |
| Oblea *1 | tamaño: 6, 8 pulgadas (estándar SEMI/JEIDA) |
| Transportador compatible | 6 pulg：PA182-60MB-06XX（Entegris） |
| 8 pulg：PA192-80M-06XX（Entegris） | |
| Rendimiento *2 | 6 min 45 seg |
| Mínimo L/S | 500 líneas/mm |
| Temperatura del ambiente de operación | 19～26 °C |
| Humedad del ambiente de operación | Menos de 70% de humedad relativa |
| Dimensiones | 4125 x 3040 mm |
| Voltaje de la fuente de alimentación | CA 100-120 V/200-240 V |
| Frecuencia de la fuente de alimentación | 50 Hz/60 Hz |
| Consumo actual | 7.5 A/3.7 A |
| Vacío | -80 kPa |
*1 Solicitar la evaluación de transferencia de obleas antes de la venta.
*2 Tiempo de transferencia de 25 obleas sin contar el tiempo de medición
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