La Unidad de Negocio de Metrología Industrial de Nikon Corporation ha lanzado el sistema de medición automática de obleas NEXIV VMZ-NWL 200 para resolver los desafíos de la metrología de obleas en el proceso “back-end” de semiconductores, en el que tradicionalmente se realiza más trabajo manual que en el control de proceso “front-end”. El principal mercado objetivo del NEXIV VMZ-NWL 200 es, por consiguiente, la medición centrada en los procesos de fabricación de semiconductores en el “back-end”.
El NEXIV VMZ-NWL 200 remedia la escasez de técnicos expertos para realizar mediciones manuales. La industria de semiconductores se ha desarrollado a lo largo del camino de la miniaturización, lo que ha aumentado el nivel de habilidad requerido para la medición y ha reducido el número de ingenieros disponibles. Por otro lado, el mercado de los semiconductores continúa expandiéndose, por lo que las crecientes oportunidades de metrología se ofrecen cada vez a menos personas. Como resultado, las mediciones manuales que utilizan microscopios ópticos convencionales han llegado a sus límites.
El NEXIV VMZ-NWL 200 es un sistema que mide automáticamente obleas de 6 u 8 pulgadas en un transportador de acuerdo a un programa de medición. La confiabilidad de NEXIV garantiza una alta repetibilidad de mediciones, así como una carga estable de obleas con NWL. El sistema permite seleccionar de forma intuitiva el chip que se va a medir mediante un software específico. De este modo, cualquiera puede obtener los resultados de medición de chips que se necesiten, con un alto nivel de confiabilidad. Además, es posible rastrear cuándo se realizó la medición y qué programa la realizó, lo cual ayuda a mejorar la rastreabilidad.
El sistema está diseñado teniendo en cuenta la seguridad y dispone de una cubierta protectora para evitar posibles daños debido a errores del operador. La operación cumple con los estándares internacionales SEMI S2, S8 y F47.
Acerca de Nikon Metrology
Nikon ofrece una gran variedad de productos, servicios y soluciones en todo el mundo basados en optoelectrónica avanzada y tecnologías de precisión desarrolladas durante los más de 100 años de historia de la compañía. El grupo sigue creando nuevos valores que contribuyen a la mejora de la calidad de vida y la fabricación en una amplia variedad de formas. La Unidad de Negocios de Metrología Industrial (Industrial Metrology Business Unit, IMBU) de Nikon, ofrece soluciones integradas, optimizadas y de altísima precisión que no solo son personalizadas y rentables, sino que también funcionan a la perfección desde su implementación. Un desarrollo reciente bajo el estandarte de Fabricación Digital de Nikon, es una cooperación más estrecha entre IMBU y la Unidad de Negocio de Soluciones Digitales (Digital Solutions Business Unit, DSBU) de la corporación, la cual ha lanzado una serie de soluciones ópticas de fabricación aditiva y sustractiva para procesar una amplia variedad de materiales con un acabado superficial submicrónico. www.industry.nikon.com
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