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XY 형상 투영기 스테이지
스테이지
샘플을 로드하여 XY 방향으로 이동하고 정확한 이동 값을 판독합니다.
PS 10x6B
- 250x150mm
PS 8x6B
- 200x150mm
PS 6x4B
- 150x100mm
PS 4x4B
- 100x100mm
SPS 2x2B
- 50x50mm
* 스테이지 스트로크는 X축 스트로크 Y축 스트로크 순으로 나열되어 있습니다.