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Série NEXIV VMZ-K
Système de mesure vidéo confocal multifonctionnel révolutionnaire
Ce système de mesure intègre la technologie confocale, l’imagerie en fond clair avec un zoom 15x et un autofocus laser. Quelles que soient les mesures géométriques à effectuer, en 2D ou en 3D, l’inspection et l’évaluation sont particulièrement rapides et précises.
L’optique confocale permet un affichage clair et facilite la détection précise des bords à fort contraste.
Points clefs du produit
Modèle de bosses et de substrats ultrafins
Grâce à la combinaison d’une mesure en 2D avec image en fond clair et un zoom 15x et d’une mesure de hauteur en 3D dans le même champ d’observation, il est possible d’effectuer des mesures variées.
Cartes sondes
La programmation peut être faite à partir des données de localisation en un clic. Les coordonnées XYZ et la coplanarité des broches de la sonde de contact sur les cartes sondes peuvent être mesurées automatiquement grâce à des outils exclusifs de traitement d’image.
Modèle précis de circuit imprimé
La technologie d’imagerie confocale exclusive de Nikon permet de balayer avec précision les surfaces hautement réfléchissantes et celles à faible réflectivité.
Fonctions clefs
Objectif |
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Tête standard | Tête fort grossissement | ||||
Grossissement | 1,5x | 3x | 7,5x | 15x | 30x |
l.p. | 24 mm | 24 mm | 5 mm | 20 mm | 5 mm |
Optique confocale (mesure de la hauteur de la zone) |
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Tête standard | Tête fort grossissement |
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Champ de vue | 8 x 6 mm | 4 x 3 mm | 1,6 x 1,2 mm | 0,8 x 0,6 mm | 0,4 x 0,3 mm |
Répétabilité de mesure de la hauteur (2u03c3) | 0.6u00b5m | 0.35u00b5m | 0.25u00b5m | 0.20u00b5m |
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Résolution de mesure de la hauteur | 0.01u00b5m |
Optique en champ clair (mesure 2D) |
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Tête standard | Tête fort grossissement |
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Méthode de zoom | Zoom motorisé à 5 étapes |
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Champ de vue | 8 x 6 mm à 0.53 x 0.4mm | 4 x 3 mm à 0,27 x 0,2 mm | 1,6 x 1.2 mm à 0,11 x 0,08 mm | 1,26 x 0,95 mm à 0,1 x 0,074 mm | 0,63 x 0,47 mm à 0,05 x 0,04 mm |
Éclairage | Eclairage diascopique et épiscopique à LED blanches pour tous les types, Eclairage annulaire à LED blanche pour les types 1.5x, 3x et 7,5x |
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Source d’éclairage | LED blanche | ||||
Mise au point automatique | Vision AF et TTL laser AF (Egalement en mode Scan) |
Châssis principal |
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VMZ-K3040 | VMZ-K6555 | |
Course (X, Y, Z) | 300 x 400 x 150 mm |
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Capacité de chargement garantie | 20 kg | 30 kg |
Erreur maximale tolérée | EU X, MPE EU Y, MPE 1.5 + 4L / 1000 u00b5m | |
EU XY, MPE 2.5 + 4L / 1000 u00b5m | ||
EU Z, MPE 1 + L/1000 u00b5m | ||
Source d'alimentation / Consommation d'énergie | AC 100 à 240 V u00b1 10 % 50/60 Hz / 13 A à 6,5 A | |
Encombrement | 2500 x 1600 mm | 2500 x 1900 mm |
Produits associés
Gamme NEXIV VMZ-S
Gamme iNEXIV VMA
NEXIV VMZ-H3030
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