Série NEXIV VMZ-K

La série NEXIV-K est en mesure de réaliser des inspections 3D à grande vitesse et haute résolution.

Système de mesure vidéo confocal multifonctionnel révolutionnaire

Ce système de mesure intègre la technologie confocale, l’imagerie en fond clair avec un zoom 15x et un autofocus laser. Quelles que soient les mesures géométriques à effectuer, en 2D ou en 3D, l’inspection et l’évaluation sont particulièrement rapides et précises.

L’optique confocale permet un affichage clair et facilite la détection précise des bords à fort contraste.

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Points clefs du produit

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Modèle de bosses et de substrats ultrafins

Grâce à la combinaison d’une mesure en 2D avec image en fond clair et un zoom 15x et d’une mesure de hauteur en 3D dans le même champ d’observation, il est possible d’effectuer des mesures variées.

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Cartes sondes

La programmation peut être faite à partir des données de localisation en un clic. Les coordonnées XYZ et la coplanarité des broches de la sonde de contact sur les cartes sondes peuvent être mesurées automatiquement grâce à des outils exclusifs de traitement d’image.

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Modèle précis de circuit imprimé

La technologie d’imagerie confocale exclusive de Nikon permet de balayer avec précision les surfaces hautement réfléchissantes et celles à faible réflectivité.

Fonctions clefs

Série VMZ-K

Objectif
Tête standardTête fort grossissement
Grossissement 1,5x3x7,5x15x30x
l.p. 24 mm24 mm5 mm20 mm5 mm
Optique confocale (mesure de la hauteur de la zone)
Tête standard Tête fort grossissement
Champ de vue8 x 6 mm
4 x 3 mm1,6 x 1,2 mm0,8 x 0,6 mm0,4 x 0,3 mm
Répétabilité de mesure de la hauteur (2u03c3)0.6u00b5m
0.35u00b5m 0.25u00b5m 0.20u00b5m
Résolution de mesure de la hauteur0.01u00b5m
Optique en champ clair (mesure 2D)
Tête standardTête fort grossissement
Méthode de zoomZoom motorisé à 5 étapes
Champ de vue 8 x 6 mm à
0.53 x 0.4mm
4 x 3 mm à
0,27 x 0,2 mm
1,6 x 1.2 mm à
0,11 x 0,08 mm
1,26 x 0,95 mm à
0,1 x 0,074 mm
0,63 x 0,47 mm à
0,05 x 0,04 mm
ÉclairageEclairage diascopique et épiscopique à LED blanches pour tous les types,
Eclairage annulaire à LED blanche pour les types 1.5x, 3x et 7,5x
Source d’éclairage
LED blanche
Mise au point automatiqueVision AF et TTL laser AF (Egalement en mode Scan)
Châssis principal
VMZ-K3040VMZ-K6555
Course (X, Y, Z)300 x 400 x 150 mm
Capacité de chargement garantie 20 kg30 kg
Erreur maximale toléréeEU X, MPE EU Y, MPE 1.5 + 4L / 1000 u00b5m
EU XY, MPE 2.5 + 4L / 1000 u00b5m
EU Z, MPE 1 + L/1000 u00b5m
Source d'alimentation / Consommation d'énergieAC 100 à 240 V u00b1 10 % 50/60 Hz / 13 A à 6,5 A
Encombrement 2500 x 1600 mm2500 x 1900 mm
VMZ-K3040
VMZ-K6555

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