Une technique avant-gardiste de laminographie numérique (LN) par rayons X a été lancée par l’Unité commerciale de métrologie industrielle de Nikon Corporation (https://industry.nikon.com) pour l’inspection non destructrice de composants exigeants en utilisant les systèmes de tomographie numérique (TN) qu’elle fabrique. Appelée Tilted CT et disponible dès maintenant, cette nouvelle méthode améliore grandement la résolution du voxel lors de l’examen de composants plats de rapport hauteur/largeur élevé. Elle optimise également le contrôle qualité en produisant des images plus claires d’échantillons de toutes formes dans lesquels des zones denses peuvent masquer celles qui le sont moins.
Lors du balayage de composants plats, qui peuvent nécessiter l’inspection d’une petite zone d’intérêt située en leur centre, la TN conventionnelle en 3D présente des limites en matière de résolution, car l’axe de rotation de l’objet analysé est à 90 degrés du faisceau de rayons X. Il n’est donc pas possible de positionner le composant plus près de la source pour augmenter le grossissement de la zone d’intérêt et améliorer la résolution, car l’échantillon, en tournant, va entrer en collision avec la source.
L’acquisition innovante de données par LN en utilisant Tilted CT évite ce problème en permettant un ajustement de l’axe de rotation jusqu’à 30 degrés, ce qui signifie que l’échantillon peut entièrement tourner sous la source de rayons X. Cela permet d’atteindre un grossissement plus élevé et une clarté d’image améliorée dans des temps de balayages plus courts lors de l’examen d’assemblages de cartes de circuits imprimés ou de cartes sondes utilisées dans des tests des plaquettes, par exemple. Lors d’un essai comparatif, un balayage qui a duré sept heures en utilisant un microscope à rayons X a été réalisé en moins d’une heure avec Tilted CT sur un système SEMI S2/S8 compatible XT H 225 ST 2x.
L’autre avantage principal de la technique est sa capacité à éliminer les artefacts causés par des caractéristiques de haute densité dans un spécimen, obscurcissant les zones où l’atténuation des rayons X est plus faible. En inclinant l’axe de rotation, les zones d’atténuation élevée peuvent être positionnées de telle sorte qu’elles tournent en dessous ou au-dessus d’une zone d’intérêt de plus faible densité, plutôt que devant.
Cela peut s’avérer utile, par exemple, lors de l’inspection de pièces métalliques fabriquées par fabrication additive toujours attachées à leur plaque de support. Il est possible de balayer les composants dans leur totalité, même la partie inférieure, en inclinant la structure toute entière de sorte que la plaque de construction dense tourne au même angle que le faisceau conique de rayons X, éliminant ainsi l’obstacle avec efficacité.
Tilted CT est actuellement disponible pour une utilisation avec les systèmes de CT par rayons X XT H 225, XT H 225 ST 2x et grandes dimensions M2 de Nikon. L’entreprise continue à s’engager à repousser les limites de la technologie pour offrir des capacités d’imagerie sans précédent et ouvrir la porte à de nouvelles possibilités en matière de contrôle qualité. Tilted CT, ainsi qu’une série d’autres méthodes d’acquisition de données par rayons X et d’algorithmes de reconstruction récemment introduits, témoigne de cette intention.
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Nikon est un fournisseur mondial de produits, services et solutions, fruits de sa maîtrise de l’optoélectronique avancée et des technologies de précision acquises au cours de plus de 100 ans d’histoire. Le groupe poursuit ses activités en innovant pour contribuer à l’amélioration de la qualité de vie et de la fabrication au sens large. L’Unité commerciale de métrologie industrielle (IMBU) de Nikon fournit des solutions intégrées, optimisées et de très haute précision, qui sont non seulement adaptées aux besoins clients et rentables, mais qui sont également parfaitement fonctionnelles une fois mises en œuvre. Dans le cadre des activités de Nikon en matière de fabrication numérique, une coopération plus étroite est née entre l’IMBU et l’Unité commerciale de solutions numériques (Digital Solutions Business Unit, DSBU) de l’entreprise. Cette initiative a permis de lancer une gamme de solutions de fabrication additive et soustractive en optique, destinée au traitement d’une variété de matériaux avec une finition de surface inférieure au micron. www.industry.nikon.com
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