NEXIV VMZ-H3030
Con una facilidad de uso y un rendimiento avanzados, el NEXIX VMZ-H3030 logra la mayor precisión dentro de la serie NEXIV de Nikon.
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Serie NEXIV VMF-K – Sistema de medición por video confocal
La Serie NEXIV VMF-K de Nikon transforma la medición óptica, combinando las capacidades 2D y 3D de alta velocidad con una precisión excepcional. Su avanzado sistema confocal aumenta el rendimiento de diversas muestras, favoreciendo la miniaturización en los sectores de semiconductores y la ingeniería de precisión.
Rendimiento de nivel superior
La Serie NEXIV VMF-K de Nikon mejora los sistemas de medición tradicionales empleando un avanzado sistema óptico confocal. Diseñada para mejorar la velocidad de medición, la Serie VMF-K permite a los usuarios analizar diversos materiales y componentes con una eficiencia y precisión sin precedentes.
La Serie NEXIV VMF-K atiende los desafíos que plantean las geometrías complejas de las muestras, incluyendo las superficies de alto contraste y los materiales transparentes; permitiendo a los usuarios capturar mediciones detalladas que antes eran difíciles de obtener. Las funciones de medición 2D y 3D integradas en el sistema, reducen drásticamente los tiempos de inspección en comparación con los métodos tradicionales; lo que permite realizar con procesos de control de calidad mucho más rápidos y exhaustivos.
Capacidades de medición óptica mejoradas
La Serie NEXIV VMF-K mejora significativamente las capacidades de medición óptica, permitiendo inspecciones precisas en 2D y 3D de muestras diversas. El sistema confocal garantiza las mediciones precisas de materiales transparentes y de alto contraste, mejorando los análisis de superficies y alturas. Este sistema permite una inspección fiable de geometrías complejas y estructuras finas; lo que es especialmente beneficioso en la fabricación de semiconductores y componentes miniaturizados.
Aspectos destacados del producto
Mediciones de alta velocidad
La Serie NEXIV VMF-K combina mediciones 2D y de altura en un solo dispositivo, con un rendimiento 1.5 veces superior al de los modelos anteriores. Su sistema óptico confocal permite realizar mediciones simultáneas en 2D y de altura dentro del campo de visión, lo que reduce significativamente el tiempo de medición sin comprometer la precisión.
Versatilidad en múltiples aplicaciones
La Serie NEXIV VMF-K de Nikon destaca en la medición de diversos componentes semiconductores, incluidas las tarjetas de sonda y los cables de unión. Esta versatilidad la convierte en una herramienta esencial para la inspección integral de semiconductores y el aseguramiento de la calidad; agilizando las operaciones al consolidar múltiples tareas de medición en un sistema eficiente.
Soporte avanzado para semiconductores
La gama estándar de la Serie NEXIV VMF-K de Nikon incluye una lente objetivo de 45x que respalda las mediciones de empaque a nivel de obleas (wafer-level packaging, WLP). Esta capacidad de gran aumento permite inspeccionar con precisión estructuras ultrafinas, lo que resulta fundamental para mantener el control de calidad a medida que los componentes semiconductores se hacen más pequeños.
Capacidad de medición de grandes dimensiones
La Serie NEXIV VMF-K de Nikon mide con gran exactitud las dimensiones largas que exceden el tamaño del campo de visión, mientras mantiene la precisión. Esta función es esencial para la medición de dispositivos semiconductores, que requiere precisión posicional de grandes dimensiones y medición del sistema de coordenadas.
Medición estable de elementos de alto contraste
Gracias a su avanzado sistema óptico confocal, la Serie NEXIV VMF-K de Nikon proporciona mediciones estables de muestras de alto contraste. Esto garantiza imágenes claras y precisas, incluso en muestras con variaciones significativas de brillo o reflectividad.
Medición de muestras muy transparentes y delgadas
La Serie NEXIV VMF-K de Nikon mide con precisión muestras muy transparentes y delgadas, abordando un desafío común en los sistemas de medición óptica. Esta capacidad extiende su aplicabilidad a la medición de muestras transparentes y delgadas, como películas de superficie metálica y resistencias de semiconductores, mejorando su versatilidad en varias mediciones.
Modelos de la Serie NEXIV VMF-K
La Serie NEXIV VMF-K combina mediciones ópticas 2D y 3D con un rendimiento 1.5 veces superior para tarjetas de sonda. Cuenta con un lente objetivo de 45x y una fuente de luz confocal LED (vida útil de 30,000 horas), y soporta empaquetado a nivel de oblea y mediciones de grandes dimensiones. Compatible con SEMI S2/S8, se destaca en aplicaciones de semiconductores e ingeniería de precisión.
NEXIV VMF-K3040
Recorridos (XYZ): 300x400x150 mm
Especificaciones
| VMF-K3040 / VMF-K6555 | |||||||
| Measuring head | Standard head (Type-S) | High-magnification head (Type-H) | 45× High-magnification head | ||||
| Optical magnification | Magnification | 1.5× | 3.0× | 7.5× | 15× | 30× | 45× |
| Working distance | 24 mm | 24 mm | 5 mm | 20 mm | 5 mm | 5 mm | |
| Confocal optics (height measurement) | Maximum scan height | 1 mm | |||||
| Field of view | 7.80×5.82 mm | 3.90×2.91 mm | 1.56×1.17 mm | 0.78×0.58 mm | 0.39×0.29 mm | 0.26×0.19 mm |
|
| Height measurement repeatability (2σ) | 0.6 μm | 0.35 μm | 0.25 μm | 0.25 μm | 0.2 μm | 0.2 μm | |
| Height resolution | 0.025 μm | 0.01 μm | |||||
| Light source | Green LED | ||||||
| Bright Field Optics (two-dimensional measurement) | Magnification method | Motorised 5-step zoom | |||||
| Field of view | 7.80×5.85~ 0.52×0.39 mm | 3.90×2.92~ 0.26×0.19 mm | 1.56×1.17~ 0.10×0.078 mm | 1.26×0.95~ 0.099×0.074 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm |
|
| Illumination | Diascopic, coaxial episcopic and ring | Diascopic, coaxial episcopic | |||||
| Light source | White LED | ||||||
| Autofocus | TTL Laser AF, Image AF | ||||||
| Main body | Power source | AC 100V-240V ±10%, 50/60 Hz | |||||
| Power consumption | 13A-10A | ||||||
| Safety standard | SEMI S2/S8 compliance *1 | ||||||
| Model | VMF-K3040 | VMF-K6555 | |||||
| Main Body | XYZ strokes | 300×400×150 mm | 650×550×150 mm | ||||
| Accuracy guaranteed loading capacity | 20 kg | 30 kg | |||||
| Maximum permissible error (L: Length in mm) | Eux, MPE Euy, MPE ± (1.2 + 4L/1000) μm | ||||||
| Euxy, MPE ± (2.0 + 4L/1000) μm | |||||||
| Euz, MPE ± (1 + L/1000) μm | |||||||
| Minimum readout | 0.01 μm | ||||||
| Dimensions (WxDxH) and weight | Main body and table | 1146×1247×1973 mm / approx. 800 kg | 1198×1640×1973 mm / approx. 800 kg | ||||
| Controller | 190×450×440 mm / approx. 14 kg | ||||||
| Recommended installation dimensions (WxD) *2 | 3150×3000 mm | 3200×3300 mm | |||||
| Minimum installation dimensions (WxD) | 2500×1600 mm | 2500×1900 mm | |||||
*1: If installed according to SEMI guidelines, VMF-K will be compliant with SEMI S2/S8.
*2: Includes our recommended maintenance space.a
NEXIV VMF-K6555
Recorridos (XYZ): 650x550x150 mm
Especificaciones
| VMF-K3040 / VMF-K6555 | |||||||
| Measuring head | Standard head (Type-S) | High-magnification head (Type-H) | 45× High-magnification head | ||||
| Optical magnification | Magnification | 1.5× | 3.0× | 7.5× | 15× | 30× | 45× |
| Working distance | 24 mm | 24 mm | 5 mm | 20 mm | 5 mm | 5 mm | |
| Confocal optics (height measurement) | Maximum scan height | 1 mm | |||||
| Field of view | 7.80×5.82 mm | 3.90×2.91 mm | 1.56×1.17 mm | 0.78×0.58 mm | 0.39×0.29 mm | 0.26×0.19 mm |
|
| Height measurement repeatability (2σ) | 0.6 μm | 0.35 μm | 0.25 μm | 0.25 μm | 0.2 μm | 0.2 μm | |
| Height resolution | 0.025 μm | 0.01 μm | |||||
| Light source | Green LED | ||||||
| Bright Field Optics (two-dimensional measurement) | Magnification method | Motorised 5-step zoom | |||||
| Field of view | 7.80×5.85~ 0.52×0.39 mm | 3.90×2.92~ 0.26×0.19 mm | 1.56×1.17~ 0.10×0.078 mm | 1.26×0.95~ 0.099×0.074 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm |
|
| Illumination | Diascopic, coaxial episcopic and ring | Diascopic, coaxial episcopic | |||||
| Light source | White LED | ||||||
| Autofocus | TTL Laser AF, Image AF | ||||||
| Main body | Power source | AC 100V-240V ±10%, 50/60 Hz | |||||
| Power consumption | 13A-10A | ||||||
| Safety standard | SEMI S2/S8 compliance *1 | ||||||
| Model | VMF-K3040 | VMF-K6555 | |||||
| Main Body | XYZ strokes | 300×400×150 mm | 650×550×150 mm | ||||
| Accuracy guaranteed loading capacity | 20 kg | 30 kg | |||||
| Maximum permissible error (L: Length in mm) | Eux, MPE Euy, MPE ± (1.2 + 4L/1000) μm | ||||||
| Euxy, MPE ± (2.0 + 4L/1000) μm | |||||||
| Euz, MPE ± (1 + L/1000) μm | |||||||
| Minimum readout | 0.01 μm | ||||||
| Dimensions (WxDxH) and weight | Main body and table | 1146×1247×1973 mm / approx. 800 kg | 1198×1640×1973 mm / approx. 800 kg | ||||
| Controller | 190×450×440 mm / approx. 14 kg | ||||||
| Recommended installation dimensions (WxD) *2 | 3150×3000 mm | 3200×3300 mm | |||||
| Minimum installation dimensions (WxD) | 2500×1600 mm | 2500×1900 mm | |||||
*1: If installed according to SEMI guidelines, VMF-K will be compliant with SEMI S2/S8.
*2: Includes our recommended maintenance space.a
Innovación y calidad en todos los entornos
La Serie NEXIV VMF-K ofrece mediciones ópticas avanzadas para diversos sectores. Su sistema confocal ofrece mediciones precisas en 2D y 3D de diversos componentes, manejando muestras de alto contraste y transparentes. Con un rendimiento mejorado y un gran aumento, es compatible con la miniaturización y las geometrías complejas en la fabricación moderna; especialmente en las industrias de semiconductores y electrónica.
Aplicaciones industriales
Semiconductores/Electrónica Empaquetado avanzado
La Serie NEXIV VMF-K combina el análisis simultáneo en 2D y en altura dentro de un único campo de visión, lo que la hace ideal para procesos avanzados de empaquetado. El nuevo lente objetivo de 45x recién estandarizado permite medir con precisión características inferiores a 2μm, abordando directamente los desafíos que plantean las arquitecturas de dispositivos seminconductores cada vez más complejas.
Semiconductores/Electrónica Inspección de tarjetas de sonda
La Serie NEXIV VMF-K ofrece una mejora de 1.5x veces en el rendimiento de mediciones de tarjetas de sonda en comparación con su predecesora. Esta mejora de la velocidad se combina con la capacidad del sistema para mantener mediciones estables más allá del campo de visión, lo que agiliza los procesos de inspección y garantiza una completa precisión en la evaluación de la tarjeta de sonda.
Semiconductores/Electrónica Inspección de obleas
La Serie NEXIV VMF-K utiliza una óptica confocal avanzada para garantizar una inspección precisa de superficies con reflectividad variable, lo que la hace ideal para el análisis de obleas de seminconductores. Su lente objetivo estandarizado de 45x, captura las características más finas de las obleas, mientras que la capacidad de medición simultánea en 2D y en altura, maximiza la eficacia de la inspección dentro de cada campo de visión.
Semiconductores/Electrónica Producción de sustratos
Optimizada para flujos de trabajo de inspección de sustratos, la Serie NEXIV VMF-K consigue mediciones estables en materiales difíciles, incluyendo muestras transparentes y de alto contraste. Basado en la tecnología confocal probada, el sistema ofrece velocidades de escaneo 1.5 veces más rápidas que la generación anterior; manteniendo la precisión necesaria para los estándares modernos de producción de sustratos.
Preguntas frecuentes
La Serie NEXIV VMF-K de Nikon es especialmente práctica para la industria de los semiconductores, sobre todo para medir tarjetas de sonda y satisfacer demandas avanzadas de medición de semiconductores. También es adecuada para medir muestras con contraste de alto brillo y muestras transparentes, con reflejo de luz inestable. El sistema admite mediciones de empaquetado a nivel de oblea (Wafer-Level Packaging, WLP), y puede medir dimensiones largas más allá del campo de visión.
La Serie VMF-K de Nikon cuenta con una velocidad de escaneo mejorada para la medición de altura, consiguiendo una mejora del rendimiento de aproximadamente 1.5 veces en comparación con otros modelos. Además, se ha integrado en la gama un lente objetivo de gran aumento de 45x, para satisfacer la necesidad de medir dimensiones más finas.
Entre sus principales características incluyen un redimiento de medición mejorado, una fuente de luz confocal cambiada de xenón a LED para una vida útil más larga (de 3,000 a 30,000 horas), una línea de modelos estandarizada de 45x para mediciones avanzadas de semiconductores; cumplimiento de los estándares SEMI S2/S8, capacidad de mantenimiento mejorada y un nuevo diseño exterior. El sistema combina la medición 2D mediante imágenes de campo-brillante con la medición simultánea de altura mediante un sistema óptico confocal.
La Serie NEXIV VMF-K utiliza un sistema óptico confocal que permite la medición estable de muestras con contraste de alto brillo y muestras transparentes con reflejo de luz inestable. Permite una medición precisa y estable de grandes dimensiones más allá del campo de visión. El sistema mantiene el rendimiento principal de la Serie VMZ-K al tiempo que ofrece estas mejoras.
La Serie NEXIV VMF-K de Nikon ofrece varias mejoras en cuanto a facilidad de uso. Una sola persona puede retirar la cubierta del cabezal, mientras que la serie VMZ-K requiere dos personas. Está equipada con un LED en la parte delantera del cabezal de medición, para mostrar el estado de la máquina. El sistema también es compatible con los anclajes de suelo de la Serie VMZ-S para mayor estabilidad de la instalación. Además, incluye una función para convertir el tamaño del calibrador de los archivos de enseñanza creados con VMZ-K para que coincida con el conteo de pixeles de la cámara en el VMF-K, garantizando así la compatibilidad ascendente.
| VMF-K3040 / VMF-K6555 | |||||||
| Measuring head | Standard head (Type-S) | High-magnification head (Type-H) | 45× High-magnification head | ||||
| Optical magnification | Magnification | 1.5× | 3.0× | 7.5× | 15× | 30× | 45× |
| Working distance | 24 mm | 24 mm | 5 mm | 20 mm | 5 mm | 5 mm | |
| Confocal optics (height measurement) | Maximum scan height | 1 mm | |||||
| Field of view | 7.80×5.82 mm | 3.90×2.91 mm | 1.56×1.17 mm | 0.78×0.58 mm | 0.39×0.29 mm | 0.26×0.19 mm |
|
| Height measurement repeatability (2σ) | 0.6 μm | 0.35 μm | 0.25 μm | 0.25 μm | 0.2 μm | 0.2 μm | |
| Height resolution | 0.025 μm | 0.01 μm | |||||
| Light source | Green LED | ||||||
| Bright Field Optics (two-dimensional measurement) | Magnification method | Motorised 5-step zoom | |||||
| Field of view | 7.80×5.85~ 0.52×0.39 mm | 3.90×2.92~ 0.26×0.19 mm | 1.56×1.17~ 0.10×0.078 mm | 1.26×0.95~ 0.099×0.074 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm |
|
| Illumination | Diascopic, coaxial episcopic and ring | Diascopic, coaxial episcopic | |||||
| Light source | White LED | ||||||
| Autofocus | TTL Laser AF, Image AF | ||||||
| Main body | Power source | AC 100V-240V ±10%, 50/60 Hz | |||||
| Power consumption | 13A-10A | ||||||
| Safety standard | SEMI S2/S8 compliance *1 | ||||||
| Model | VMF-K3040 | VMF-K6555 | |||||
| Main Body | XYZ strokes | 300×400×150 mm | 650×550×150 mm | ||||
| Accuracy guaranteed loading capacity | 20 kg | 30 kg | |||||
| Maximum permissible error (L: Length in mm) | Eux, MPE Euy, MPE ± (1.2 + 4L/1000) μm | ||||||
| Euxy, MPE ± (2.0 + 4L/1000) μm | |||||||
| Euz, MPE ± (1 + L/1000) μm | |||||||
| Minimum readout | 0.01 μm | ||||||
| Dimensions (WxDxH) and weight | Main body and table | 1146×1247×1973 mm / approx. 800 kg | 1198×1640×1973 mm / approx. 800 kg | ||||
| Controller | 190×450×440 mm / approx. 14 kg | ||||||
| Recommended installation dimensions (WxD) *2 | 3150×3000 mm | 3200×3300 mm | |||||
| Minimum installation dimensions (WxD) | 2500×1600 mm | 2500×1900 mm | |||||
*1: If installed according to SEMI guidelines, VMF-K will be compliant with SEMI S2/S8.
*2: Includes our recommended maintenance space.
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