NEXIV VMZ-NWL200

VMZ-NWL200 es un sistema automático de medición de obleas que integra un sistema de medición por video “NEXIV” y un cargador de obleas “NWL200”. NEXIV, que cuenta con una avanzada tecnología de procesamiento de imágenes, mide automáticamente con gran precisión y alta velocidad, obleas de 6 u 8 pulgadas colocadas en un transportador.

Alta confiabilidad, eficiencia y operatividad

El sistema de medición por video NEXIV, ampliamente utilizado en la industria mundial de semiconductores, se ha integrado en el sistema automático y comprobado de carga de obleas NWL200 de Nikon.

El resultado es el VMZ-NWL200, sistema con una innovadora célula de medición y una excelente precisión y eficiencia. Por otro lado, el software especialmente desarrollado simplifica las complejas operaciones necesarias para el control del proceso. Los datos de alta calidad se transfieren más rápidamente a la línea de producción, maximizando el rendimiento.

Puntos destacados del producto

Alta confiabilidad

Al medir de forma automática y consistente, el VMZ-NWL200 elimina la variación de resultados debido a las diferentes interpretaciones de las lecturas por parte de los operadores.  Además, Nikon aprovecha sus fortalezas como fabricante de equipo óptico para proporcionar una imagen clara y poder detectar con precisión los bordes del objeto bajo inspección.

Alta eficiencia

La inspección con el VMZ-NWL200 puede iniciarse con un solo clic. Además, la productividad de la medición es tres veces superior a la de los microscopios de medición. La alta eficiencia del sistema de medición por video ofrece un bajo costo de propiedad.

Alta operabilidad

Debido a que las imágenes de la oblea se muestran en la interfaz gráfica del usuario, el operador puede especificar el chip que se medirá simplemente haciendo clic en el punto con el mouse.

Funciones principales

Serie VMZ-S

Cargador de obleas para inspección de circuitos integrados NWL200

DispositivoSistema de medición por video(VMZ-S3020 Tipo2, Tipo3, TipoTZ)
Cargador: NWL200
Oblea *1tamaño: 6, 8 pulgadas (estándar SEMI/JEIDA)
Transportador compatible6 pulg:PA182-60MB-06XX(Entegris)
8 pulg:PA192-80M-06XX(Entegris)
Rendimiento *26 min 45 seg
Mínimo L/S500 líneas/mm
Temperatura del ambiente de operación19~26 °C
Humedad del ambiente de operaciónMenos de 70% de humedad relativa
Dimensiones4125 x 3040 mm
Voltaje de la fuente de alimentaciónCA 100-120 V/200-240 V
Frecuencia de la fuente de alimentación50 Hz/60 Hz
Consumo actual7.5 A/3.7 A
Vacío-80 kPa

*1 Solicitar la evaluación de transferencia de obleas antes de la venta.
*2 Tiempo de transferencia de 25 obleas sin contar el tiempo de medición

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