Pelopor teknik computed laminography X-ray (CL) telah diluncurkan oleh Unit Metrology Business Unit dari Nikon Corporation (https://industry.nikon.com) untuk memeriksa komponen rumit secara non-destruktif menggunakan sistem computed tomography (CT) yang diproduksinya. Disebut Tilted CT, yang kini telah dirilis, metode baru ini meningkatkan resolusi voxel secara signifikan ketika memeriksa komponen datar dengan rasio aspek yang tinggi. Metode ini juga meningkatkan pengendalian mutu dengan menghasilkan gambar yang lebih jernih dari sampel dalam bentuk apa pun, di mana area yang padat dapat menyamarkan area yang kurang padat.
Saat memindai komponen datar, di mana mungkin terdapat area kecil di bagian tengah yang perlu diperiksa, CT 3D konvensional masih memiliki keterbatasan dalam hal resolusi, karena sumbu rotasi benda yang diperiksa berada pada 90 derajat terhadap berkas X-ray. Oleh karena itu, tidak memungkinkan untuk memposisikan komponen lebih dekat ke sumber untuk meningkatkan pembesaran area yang diinginkan dan meningkatkan resolusi, karena sampel yang berputar akan berbenturan dengan sumber.
Akuisisi data CL yang inovatif menggunakan Tilted CT dapat mencegah masalah dengan memungkinkan sumbu rotasi disesuaikan hingga 30 derajat, sehingga sampel dapat sepenuhnya berputar di bawah sumber X-ray. Pembesaran lebih tinggi dan kejernihan gambar yang disempurnakan tercapai dalam waktu pemindaian lebih singkat saat memeriksa. Misalnya, rakitan printed circuit board atau kartu probe yang digunakan dalam pengujian wafer otomatis. Dalam satu pengujian komparatif, pemindaian yang memakan waktu lebih dari tujuh jam menggunakan mikroskop X-ray diselesaikan dalam waktu kurang dari satu jam dengan Tilted CT pada sistem XT H 225 ST 2x sesuai dengan SEMI S2/S8.
Keunggulan utama lainnya dari teknik ini adalah pada kemampuannya untuk menghilangkan artefak yang disebabkan oleh fitur dengan kepadatan tinggi pada spesimen yang memburamkan area di mana atenuasi X-ray lebih rendah. Dengan memiringkan sumbu rotasi, area dengan atenuasi tinggi dapat diposisikan sedemikian rupa sehingga berputar di bawah atau di atas area dengan densitas lebih rendah, daripada di depannya.
Cara ini terbukti sangat bermanfaat, misalnya, ketika memeriksa komponen logam yang diproduksi secara aditif, sewaktu komponen tersebut masih terpasang pada pelat penyangga. Hal ini memungkinkan pemindaian komponen secara keseluruhan, bahkan bagian bawahnya, dengan memiringkan seluruh struktur sehingga pelat penyangga yang padat berputar pada sudut yang sama dengan berkas cone X-ray, sehingga secara efektif menghilangkan penghalang.
Tilted CT saat ini tersedia untuk digunakan dengan XT H 225, XT H 225 ST 2x dan sistem CT X-ray M2 large-envelope dari Nikon. Perusahaan tetap berkomitmen untuk mendobrak batasan teknologi untuk menghasilkan kemampuan pencitraan yang belum pernah ada sebelumnya dan membuka peluang untuk kemungkinan baru dalam pengendalian mutu. Tilted CT, bersama dengan sejumlah metode akuisisi data X-ray dan algoritme rekonstruksi yang baru diperkenalkan ini merupakan bukti dari tekad tersebut.
Tentang Nikon Industrial Metrology
Nikon menyediakan beragam produk, layanan, dan solusi di seluruh dunia, berdasarkan teknologi opto-elektronik dan presisi canggih yang dikembangkan selama lebih dari 100 tahun sejarah perusahaan. Grup ini terus menciptakan nilai-nilai baru guna berkontribusi pada peningkatan kualitas hidup dan manufaktur dalam berbagai wujud. Industrial Metrology Business Unit (IMBU) Nikon memberikan solusi presisi ultra-tinggi yang terintegrasi, dioptimalkan, yang tidak hanya dapat dikostumisasi dan hemat biaya, tetapi juga bekerja dengan sangat baik segera setelah diimplementasikan. Perkembangan terbaru di bawah naungan Nikon Digital Manufacturing adalah kerja sama yang lebih erat antara IMBU dan Digital Solutions Business Unit (DSBU) perusahaan, yang telah meluncurkan serangkaian solusi manufaktur aditif dan subtraktif optik untuk memproses berbagai macam bahan hingga hasil akhir permukaan sub-mikron. www.industry.nikon.com
