Mesure automatique des plaquettes
Inspection complètement automatique et sécurisée de plaquettes de 6 ou 8 pouces contenues dans la cassette support.
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NEXIV VMZ-NWL200
VMZ-NWL200 est un nouveau système de mesure automatique des plaquettes qui intègre le système de mesure vidéo « NEXIV » et un chargeur de plaquettes « NWL200 ». Doté d’une technologie de traitement d’image avancée, NEXIV réalise de façon automatique, avec une grande précision et rapidement des mesures de plaquettes de 6 ou 8 pouces contenues dans la cassette support.
Fiabilité, efficacité et facilité d’utilisation
Largement utilisé dans l’industrie mondiale des semi-conducteurs, le système de mesure vidéo NEXIV a été intégré au système de chargement automatique des plaquettes NWL200 de Nikon.
Le résultat est le VMZ-NWL200, une cellule de mesure innovante dotée d’une fiabilité et d’une efficacité excellentes. De plus, un logiciel spécialement développé simplifie les opérations complexes requises pour le contrôle des processus. Des données précises sont renvoyées plus rapidement à la ligne de production, maximisant le rendement.
Points clefs du produit
Grande fiabilité
Grâce à ses mesures automatiques et répétables, le VMZ-NWL200 élimine toute variabilité des mesures due à l’interprétations des résultats inter-opérateurs. En outre, Nikon tire parti de ses atouts en tant que fabricant d’équipement optique afin de fournir une image nette permettant de détecter avec précision les bords de l’objet inspecté.
Haute efficacité
Avec le VMZ-NWL200, l’inspection est lancée d’un seul clic. En plus, le rendement des mesures est triplé par rapport aux microscopes de mesure. La grande efficacité du système de mesure vidéo permet de réduire le coût d’exploitation.
Grande facilité d’utilisation
Les plaquettes étant affichées à l’écran sur l’interface utilisateur, l’opérateur peut spécifier la puce à mesurer en cliquant simplement sur le point avec la souris.
Fonctions clefs
Grande fiabilité
Permet en toute facilité la création, l’exécution et l’enregistrement de programmes d’inspection très solides, avec une traçabilité complète.
Amélioration du rendement
Satisfait aux critères de qualité 4.0 de l’industrie des semi-conducteurs.
| Dispositif | Système de mesure vidéo : NEXIV（VMZ-S3020 Type2、Type3、TypeTZ) |
| Chargeur : NWL200 | |
| Plaquette *1 | taille : 6-8 pouces (SEMI/JEIDA Standard） |
| Cassette Support compatible | 6 pouces : PA182-60MB-06XX（Entegris） |
| 8 pouces : PA192-80M-06XX（Entegris） | |
| Capacité de production *2 | 6 min 45 sec |
| L/S minimum | 500 lignes/mm |
| Température de l’environnement opérationnel | 19～26 ℃ |
| Humidité de l’environnement opérationnel | Moins de 70 % d’humidité résiduelle |
| Dimensions | 4125 x 3040 mm |
| Tension d'alimentation | CA 100-120 V/200-240 V |
| Fréquence de l’alimentation | 50 Hz/60 Hz |
| Consommation d’électricité | 7,5 A/3,7 A |
| Vide | -80 kPa |
*1 Requiert une évaluation du transfert des plaquettes avant la vente
*2 Temps de transfert pour 25 plaquettes hors temps de mesure
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