Seri NEXIV VMF-K Nikon menyulap pengukuran optik, memadukan kemampuan 2D dan 3D berkecepatan tinggi dengan akurasi menakjubkan. Sistem confocal yang canggih ini mampu meningkatkan throughput untuk beragam jenis sampel, sehingga menunjang miniaturisasi dalam industri semikonduktor dan teknik presisi.
Seri NEXIV VMF-K Nikon menyempurnakan sistem pengukuran konvensional dengan menerapkan sistem optik confocal terobosan baru. Dirancang untuk mempercepat proses pengukuran, Seri VMF-K memungkinkan pengguna menganalisis beragam jenis material dan komponen dengan efisiensi dan presisi yang tak tertandingi.
Seri NEXIV VMF-K mengatasi berbagai tantangan yang dihadirkan oleh geometri sampel yang kompleks — termasuk permukaan kontras tinggi dan material transparan — yang memungkinkan pengguna untuk memperoleh pengukuran terperinci yang sebelumnya sulit didapatkan. Kemampuan pengukuran 2D dan 3D yang terintegrasi pada sistem ini secara drastis mengurangi waktu pemeriksaan dibandingkan dengan metode konvensional, memungkinkan proses pengendalian mutu yang tentunya lebih cepat dan komprehensif.
Seri NEXIV VMF-K secara signifikan meningkatkan kemampuan pengukuran optik. Hal ini memungkinkan pemeriksaan 2D dan 3D yang akurat terhadap beragam jenis sampel. Sistem confocalnya memastikan pengukuran pada material kontras tinggi dan transparan yang akurat, sehingga menyempurnakan analisis permukaan dan ketinggian. Sistem ini memungkinkan pemeriksaan yang andal pada geometri yang rumit dan struktur yang halus, yang terutama bermanfaat dalam pembuatan komponen semikonduktor dan miniatur.
Seri NEXIV VMF-K mampu mencapai throughput 1,5 kali lebih tinggi dibandingkan model sebelumnya dengan memadukan pengukuran 2D dan ketinggian dalam satu perangkat. Sistem optik confocalnya memungkinkan pengukuran 2D dan ketinggian secara bersamaan dalam bidang pandang. Hal ini secara signifikan memangkas waktu pengukuran tanpa harus mengorbankan keakuratannya.
Seri NEXIV VMF-K Nikon unggul dalam hal mengukur beragam komponen semikonduktor, termasuk kartu probe dan bonding wire. Fleksibilitas ini menjadikannya alat bantu yang krusial bagi pemeriksaan semikonduktor dan jaminan kualitas yang komprehensif, yang mempersingkat operasi dengan mengonsolidasikan beberapa langkah pengukuran ke dalam satu sistem yang efisien.
Jajaran seri standar Nikon NEXIV VMF-K Nikon dilengkapi lensa objektif 45x yang mendukung pengukuran pengemasan tingkat wafer (WLP). Kemampuan pembesaran tinggi ini memungkinkan pemeriksaan struktur ultra-halus secara presisi, yang sangat penting untuk mempertahankan pengendalian mutu karena komponen semikonduktor menjadi semakin kecil.
Seri NEXIV VMF-K Nikon secara tepat mengukur dimensi panjang yang melebihi ukuran bidang pandang sementara mempertahankan akurasi. Fitur ini krusial untuk pengukuran perangkat semikonduktor, di mana diperlukannya presisi posisi dimensi panjang dan pengukuran sistem koordinat.
Seri NEXIV VMF-K Nikon memberikan pengukuran yang stabil terhadap sampel kontras tinggi dengan menggunakan sistem optik confocal canggihnya. Dengan ini citra jelas dan akurat dapat terjamin, bahkan untuk sampel dengan perbedaan signifikan pada tingkat kecerahan maupun daya pantulnya.
Seri NEXIV VMF-K Nikon mampu secara akurat mengukur sampel yang sangat transparan dan tipis, dan dengan ini mengatasi kendala utama dalam sistem pengukuran optik. Kemampuan ini membuatnya dapat digunakan untuk mengukur sampel transparan dan tipis, seperti film permukaan logam dan resistor semikonduktor, sehingga meningkatkan keserbagunaannya di dalam berbagai jenis pengukuran.
Seri NEXIV VMF-K memadukan pengukuran optik 2D dan 3D dengan throughput 1,5 kali lebih tinggi untuk kartu probe. Seri ini memiliki lensa objektif 45x dan sumber cahaya confocal LED (masa pakai 30.000 jam) dan mendukung pengukuran pengemasan tingkat wafer dan dimensi panjang. Mengikuti standar SEMI S2/S8, seri ini unggul dalam penerapan semikonduktor dan teknik presisi.
Garis (XYZ): 300x400x150 mm
| VMF-K3040 / VMF-K6555 | |||||||
| Measuring head | Standard head (Type-S) | High-magnification head (Type-H) | 45× High-magnification head | ||||
| Optical magnification | Magnification | 1.5× | 3.0× | 7.5× | 15× | 30× | 45× |
| Working distance | 24 mm | 24 mm | 5 mm | 20 mm | 5 mm | 5 mm | |
| Confocal optics (height measurement) | Maximum scan height | 1 mm | |||||
| Field of view | 7.80×5.82 mm | 3.90×2.91 mm | 1.56×1.17 mm | 0.78×0.58 mm | 0.39×0.29 mm | 0.26×0.19 mm |
|
| Height measurement repeatability (2σ) | 0.6 μm | 0.35 μm | 0.25 μm | 0.25 μm | 0.2 μm | 0.2 μm | |
| Height resolution | 0.025 μm | 0.01 μm | |||||
| Light source | Green LED | ||||||
| Bright Field Optics (two-dimensional measurement) | Magnification method | Motorised 5-step zoom | |||||
| Field of view | 7.80×5.85~ 0.52×0.39 mm | 3.90×2.92~ 0.26×0.19 mm | 1.56×1.17~ 0.10×0.078 mm | 1.26×0.95~ 0.099×0.074 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm |
|
| Illumination | Diascopic, coaxial episcopic and ring | Diascopic, coaxial episcopic | |||||
| Light source | White LED | ||||||
| Autofocus | TTL Laser AF, Image AF | ||||||
| Main body | Power source | AC 100V-240V ±10%, 50/60 Hz | |||||
| Power consumption | 13A-10A | ||||||
| Safety standard | SEMI S2/S8 compliance *1 | ||||||
| Model | VMF-K3040 | VMF-K6555 | |||||
| Main Body | XYZ strokes | 300×400×150 mm | 650×550×150 mm | ||||
| Accuracy guaranteed loading capacity | 20 kg | 30 kg | |||||
| Maximum permissible error (L: Length in mm) | Eux, MPE Euy, MPE ± (1.2 + 4L/1000) μm | ||||||
| Euxy, MPE ± (2.0 + 4L/1000) μm | |||||||
| Euz, MPE ± (1 + L/1000) μm | |||||||
| Minimum readout | 0.01 μm | ||||||
| Dimensions (WxDxH) and weight | Main body and table | 1146×1247×1973 mm / approx. 800 kg | 1198×1640×1973 mm / approx. 800 kg | ||||
| Controller | 190×450×440 mm / approx. 14 kg | ||||||
| Recommended installation dimensions (WxD) *2 | 3150×3000 mm | 3200×3300 mm | |||||
| Minimum installation dimensions (WxD) | 2500×1600 mm | 2500×1900 mm | |||||
*1: If installed according to SEMI guidelines, VMF-K will be compliant with SEMI S2/S8.
*2: Includes our recommended maintenance space.
Garis (XYZ): 650x550x150 mm
| VMF-K3040 / VMF-K6555 | |||||||
| Measuring head | Standard head (Type-S) | High-magnification head (Type-H) | 45× High-magnification head | ||||
| Optical magnification | Magnification | 1.5× | 3.0× | 7.5× | 15× | 30× | 45× |
| Working distance | 24 mm | 24 mm | 5 mm | 20 mm | 5 mm | 5 mm | |
| Confocal optics (height measurement) | Maximum scan height | 1 mm | |||||
| Field of view | 7.80×5.82 mm | 3.90×2.91 mm | 1.56×1.17 mm | 0.78×0.58 mm | 0.39×0.29 mm | 0.26×0.19 mm |
|
| Height measurement repeatability (2σ) | 0.6 μm | 0.35 μm | 0.25 μm | 0.25 μm | 0.2 μm | 0.2 μm | |
| Height resolution | 0.025 μm | 0.01 μm | |||||
| Light source | Green LED | ||||||
| Bright Field Optics (two-dimensional measurement) | Magnification method | Motorised 5-step zoom | |||||
| Field of view | 7.80×5.85~ 0.52×0.39 mm | 3.90×2.92~ 0.26×0.19 mm | 1.56×1.17~ 0.10×0.078 mm | 1.26×0.95~ 0.099×0.074 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm |
|
| Illumination | Diascopic, coaxial episcopic and ring | Diascopic, coaxial episcopic | |||||
| Light source | White LED | ||||||
| Autofocus | TTL Laser AF, Image AF | ||||||
| Main body | Power source | AC 100V-240V ±10%, 50/60 Hz | |||||
| Power consumption | 13A-10A | ||||||
| Safety standard | SEMI S2/S8 compliance *1 | ||||||
| Model | VMF-K3040 | VMF-K6555 | |||||
| Main Body | XYZ strokes | 300×400×150 mm | 650×550×150 mm | ||||
| Accuracy guaranteed loading capacity | 20 kg | 30 kg | |||||
| Maximum permissible error (L: Length in mm) | Eux, MPE Euy, MPE ± (1.2 + 4L/1000) μm | ||||||
| Euxy, MPE ± (2.0 + 4L/1000) μm | |||||||
| Euz, MPE ± (1 + L/1000) μm | |||||||
| Minimum readout | 0.01 μm | ||||||
| Dimensions (WxDxH) and weight | Main body and table | 1146×1247×1973 mm / approx. 800 kg | 1198×1640×1973 mm / approx. 800 kg | ||||
| Controller | 190×450×440 mm / approx. 14 kg | ||||||
| Recommended installation dimensions (WxD) *2 | 3150×3000 mm | 3200×3300 mm | |||||
| Minimum installation dimensions (WxD) | 2500×1600 mm | 2500×1900 mm | |||||
*1: If installed according to SEMI guidelines, VMF-K will be compliant with SEMI S2/S8.
*2: Includes our recommended maintenance space.
Seri NEXIV VMF-K menawarkan pengukuran optik yang canggih untuk berbagai sektor industri. Sistem confocalnya menghadirkan pengukuran 2D dan 3D yang presisi untuk berbagai komponen, sehingga mampu menangani sampel kontras tinggi dan transparan. Dengan throughput dan pembesaran tinggi yang disempurnakan, seri ini mampu membantu miniaturisasi dan geometri kompleks di bidang manufaktur modern, khususnya dalam industri semikonduktor dan elektronik.
Seri NEXIV VMF-K memadukan analisis 2D dan ketinggian secara serentak dalam satu bidang pandang, sehingga menjadikannya ideal untuk proses pengemasan yang lebih rumit. Lensa objektif 45x terstandarisasi yang baru ini memungkinkan pengukuran fitur yang detil di bawah 2μm. Dengan ini, secara langsung mengatasi sejumlah kendala yang muncul karena arsitektur perangkat semikonduktor yang semakin rumit.
Seri NEXIV VMF-K menghadirkan peningkatan 1,5x dalam throughput pengukuran kartu probe dibandingkan dengan seri pendahulunya. Peningkatan kecepatan ini dipadukan dengan kemampuan sistem untuk mempertahankan pengukuran yang stabil melampaui bidang pandang, sehingga mempersingkat proses pemeriksaan sekaligus memastikan keakuratan evaluasi kartu probe yang komprehensif.
Seri NEXIV VMF-K memanfaatkan optik confocal canggih untuk menjamin pemeriksaan permukaan dengan daya pantul yang bervariasi dengan akurat. Hal ini menjadikannya alat yang ideal untuk analisis wafer semikonduktor. Lensa objektif 45x terstandardisasinya menangkap detail wafer paling halus, sedangkan kemampuan pengukuran 2D dan ketinggian secara bersamaan memaksimalkan efisiensi pemeriksaan pada setiap bidang pandang.
Seri NEXIV VMF-K yang dioptimalkan untuk alur kerja pemeriksaan substrat, mampu menghasilkan pengukuran yang stabil pada berbagai material yang rumit, termasuk sampel dengan kontras tinggi dan transparan. Sistem yang dikembangkan berdasarkan teknologi confocal yang sudah teruji ini mampu menghasilkan kecepatan pemindaian 1,5x lebih cepat dari generasi terdahulu, dengan tetap mempertahankan ketepatan yang diperlukan untuk standar produksi substrat modern.
Seri NEXIV VMF-K Nikon sangat berguna bagi industri semikonduktor, khususnya untuk mengukur kartu probe dan menunjang kebutuhan pengukuran semikonduktor yang lebih kompleks. Perangkat seri ini juga sesuai untuk mengukur kontras kecerahan tinggi dan sampel transparan dengan pantulan cahaya yang tidak stabil. Sistem ini mendukung pengukuran pengemasan tingkat wafer (WLP) dan dapat mengukur dimensi panjang melampaui bidang pandang.
Seri VMF-K Nikon dengan kecepatan pemindaian untuk pengukuran ketinggiannya yang telah ditingkatkan, mampu mencapai peningkatan throughput sekitar 1,5 kali dibandingkan dengan model lainnya. Selain itu, pada jajaran produk ini, lensa objektif 45x pembesaran tinggi juga sudah ditambahkan untuk memenuhi tuntutan pengukuran dimensi yang lebih halus.
Fitur-fitur utama meliputi throughput pengukuran yang disempurnakan, sumber cahaya confocal yang diubah dari xenon ke LED untuk masa pakai yang lebih lama (3.000 jam hingga 30.000 jam), jajaran model 45x terstandarisasi untuk pengukuran semikonduktor tingkat lanjut, pemenuhan standar SEMI S2/S8, kemudahan perawatan yang lebih baik, dan desain eksterior baru. Sistem ini memadukan pengukuran 2D yang menggunakan citra bidang terang dengan pengukuran ketinggian secara bersamaan menggunakan sistem optik confocal.
Seri NEXIV VMF-K Nikon menggunakan sistem optik confocal yang mampu mengukur sampel secara konsisten pada sampel dengan kontras kecerahan yang tinggi dan sampel transparan dengan pantulan cahaya yang tidak stabil. Seri ini memudahkan pengukuran dimensi panjang melampaui bidang pandang secara presisi dan konsisten. Sistem ini mempertahankan kinerja utama Seri VMZ-K sekaligus menawarkan sejumlah peningkatan ini.
Seri NEXIV VMF-K Nikon menawarkan sejumlah peningkatan dalam hal kegunaan. Seri ini hanya memerlukan satu orang untuk pengoperasiannya, dibanding dengan Seri VMZ-K yang memerlukan dua orang. Seri ini dilengkapi dengan LED di bagian depan kepala pengukur untuk menampilkan status mesin. Sistem ini juga kompatibel dengan floor anchor dari Seri VMZ-S untuk stabilitas pemasangan. Selain itu, tersedia juga fungsi untuk mengonversi ukuran calliper pada file pengajaran yang dibuat dengan VMZ-K agar sesuai dengan jumlah piksel kamera dalam VMF-K, menjamin kompatibilitas ke depan.
| VMF-K3040 / VMF-K6555 | |||||||
| Measuring head | Standard head (Type-S) | High-magnification head (Type-H) | 45× High-magnification head | ||||
| Optical magnification | Magnification | 1.5× | 3.0× | 7.5× | 15× | 30× | 45× |
| Working distance | 24 mm | 24 mm | 5 mm | 20 mm | 5 mm | 5 mm | |
| Confocal optics (height measurement) | Maximum scan height | 1 mm | |||||
| Field of view | 7.80×5.82 mm | 3.90×2.91 mm | 1.56×1.17 mm | 0.78×0.58 mm | 0.39×0.29 mm | 0.26×0.19 mm |
|
| Height measurement repeatability (2σ) | 0.6 μm | 0.35 μm | 0.25 μm | 0.25 μm | 0.2 μm | 0.2 μm | |
| Height resolution | 0.025 μm | 0.01 μm | |||||
| Light source | Green LED | ||||||
| Bright Field Optics (two-dimensional measurement) | Magnification method | Motorised 5-step zoom | |||||
| Field of view | 7.80×5.85~ 0.52×0.39 mm | 3.90×2.92~ 0.26×0.19 mm | 1.56×1.17~ 0.10×0.078 mm | 1.26×0.95~ 0.099×0.074 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm |
|
| Illumination | Diascopic, coaxial episcopic and ring | Diascopic, coaxial episcopic | |||||
| Light source | White LED | ||||||
| Autofocus | TTL Laser AF, Image AF | ||||||
| Main body | Power source | AC 100V-240V ±10%, 50/60 Hz | |||||
| Power consumption | 13A-10A | ||||||
| Safety standard | SEMI S2/S8 compliance *1 | ||||||
| Model | VMF-K3040 | VMF-K6555 | |||||
| Main Body | XYZ strokes | 300×400×150 mm | 650×550×150 mm | ||||
| Accuracy guaranteed loading capacity | 20 kg | 30 kg | |||||
| Maximum permissible error (L: Length in mm) | Eux, MPE Euy, MPE ± (1.2 + 4L/1000) μm | ||||||
| Euxy, MPE ± (2.0 + 4L/1000) μm | |||||||
| Euz, MPE ± (1 + L/1000) μm | |||||||
| Minimum readout | 0.01 μm | ||||||
| Dimensions (WxDxH) and weight | Main body and table | 1146×1247×1973 mm / approx. 800 kg | 1198×1640×1973 mm / approx. 800 kg | ||||
| Controller | 190×450×440 mm / approx. 14 kg | ||||||
| Recommended installation dimensions (WxD) *2 | 3150×3000 mm | 3200×3300 mm | |||||
| Minimum installation dimensions (WxD) | 2500×1600 mm | 2500×1900 mm | |||||
*1: If installed according to SEMI guidelines, VMF-K will be compliant with SEMI S2/S8.
*2: Includes our recommended maintenance space.
Jika Anda membutuhkan informasi lebih lanjut atau penjelasan lebih rinci mengenai produk ini, tim ahli kami akan membantu Anda dengan informasi tambahan dan, jika diperlukan, akan menjadwalkan kunjungan lapangan.
Konsultasikan dengan kami secara terperinci tentang proyek Anda dan tim ahli kami akan memberikan panduan mengenai sistem pemeriksaan terbaik yang sesuai dengan kebutuhan Anda.
Silakan isi formulir di samping dan kami akan segera menghubungi Anda.
"Kolom ini wajib diisi." indicates required fields
