Unit Business Industrial Metrology Nikon Corporation telah merilis sistem pengukur wafer otomatis NEXIV VMZ-NWL 200 untuk mengatasi permasalahan metrologi wafer pada proses back-end semikonduktor, di mana lebih banyak pekerjaan yang umumnya dilakukan secara manual dibandingkan dengan pengendalian proses di front-end. Oleh karena itu, target pasar utama untuk NEXIV VMZ-NWL 200 adalah pengukuran yang berpusat pada proses manufaktur semikonduktor di back-end.
NEXIV VMZ-NWL 200 membantu mengatasi kekurangan teknisi terampil dalam pengukuran manual. Industri semikonduktor telah berkembang di sepanjang jalur miniaturisasi, yang telah meningkatkan taraf keterampilan yang diperlukan untuk melakukan pengukuran dan mengurangi jumlah teknisi yang tersedia. Di sisi lain, pasar semikonduktor terus berkembang seiring dengan meningkatnya peluang metrologi yang ditawarkan kepada lebih sedikit orang. Akibatnya, pengukuran manual menggunakan mikroskop optik konvensional pun telah mencapai batasnya.
NEXIV VMZ-NWL 200 adalah sistem yang secara otomatis mengukur wafer 6 inci atau 8 inci yang dipegang dalam carrier sesuai program pengukurnya. Keterulangan pengukuran yang tinggi dijamin oleh keandalan NEXIV dan pemuatan wafer yang stabil dengan NWL. Sistem ini memungkinkan pemilihan intuitif chip yang akan diukur menggunakan perangkat lunak khusus. Oleh karena itu, setiap orang dapat mencapai hasil pengukuran chip sesuai dengan kebutuhan dan dengan tingkat reliabilitas tinggi. Selain itu, pelacakan untuk kapan pengukuran dilakukan dan dengan program apa dapat dilakukan, sehingga membantu meningkatkan kemampuan penelusuran.
Sistem ini dirancang dengan mempertimbangkan keamanan dan dilengkapi dengan penutup pelindung untuk mencegah kemungkinan kerusakan akibat kesalahan operator. Pengoperasiannya memenuhi standar internasional SEMI S2, S8, dan F47.
Tentang Nikon Industrial Metrology
Nikon menyediakan beragam produk, layanan, dan solusi di seluruh dunia, berdasarkan teknologi opto-elektronik dan presisi canggih yang dikembangkan selama lebih dari 100 tahun sejarah perusahaan. Grup ini terus menciptakan nilai-nilai baru guna berkontribusi pada peningkatan kualitas hidup dan manufaktur dalam berbagai wujud. Industrial Metrology Business Unit (IMBU) Nikon memberikan solusi presisi ultra-tinggi yang terintegrasi, dioptimalkan, yang tidak hanya dapat dikostumisasi dan hemat biaya, tetapi juga bekerja dengan sangat baik segera setelah diimplementasikan. Perkembangan terbaru di bawah naungan Nikon Digital Manufacturing adalah kerja sama yang lebih erat antara IMBU dan Digital Solutions Business Unit (DSBU) perusahaan, yang telah meluncurkan serangkaian solusi manufaktur aditif dan subtraktif optik untuk memproses berbagai macam bahan hingga hasil akhir permukaan sub-mikron. www.industry.nikon.com
