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Objectifs CFI 60
CFI Plan EPI 20x CR (NA/WD:0.45/10.9-10.0mm), MUE35200
CFI Plan EPI 50x CR (NA/WD:0.70/3.9-3.0mm), MUE35500
CFI Plan EPI 100x CRA (NA/WD 0.85/1.2-0.85mm), MUE35900
CFI Plan EPI 100x CRB (NA/WD 0.85/1.3-0.95mm), MUE35910
CFI TU Plan FLUOR BD 5x (NA/WD:0.15/18.0mm), MUE42050
CFI TU Plan FLUOR BD 10x (NA/WD:0.30/15.0mm), MUE42100
CFI TU Plan FLUOR BD 50x (NA/WD:0.80/1.00mm), MUE42500
CFI TU Plan FLUOR BD 100x (NA/WD:0.90/1.00mm), MUE42900
CFI TU Plan BD ELWD 20x (NA/WD:0.40/19.00mm), MUE61200
CFI TU Plan BD ELWD 50x (NA/WD:0.6/11.0mm), MUE61500
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